Сензор за пиезорезивен притисок

Сензори за пиезорезивен притисокглавно се засноваат на пиезорезивниот ефект. Пиезорезистичкото дејство се користи за да се опише промената на отпорот на материјалот под механички стрес. Покрај тоа, пиезоелектричниот ефект, пиезорезистичкиот ефект создава само промена во импедансата, а не електрично полнење.

Пронајдени се пиезорезивни ефекти кај повеќето метални и полупроводливи материјали. Поради нив, пиезорезивниот ефект кај полупроводничките материјали е многу поголем од оној во металите. deformation, but also from the stress-related resistance of the material itself, which makes its degree factor hundreds of times larger than that of metals.The resistance change of N-type silicon is mainly due to the redistribution of carriers between the conduction band valleys of different mobilities caused by the displacement of its three conduction band valley pairs, which in turn changes the mobility of electrons in different flow directions.The second is due to the change in Еквивалентна маса од промената на обликот на спроводната лента долина. Во силикон од типот P-тип, овој феномен станува покомплексен и исто така доведува до еквивалентна масовна промена и конверзија на дупките.

Сензорите за пиезорезистички притисок се генерално поврзани со мостот на Wheatstone преку олово. Во суштина, не постои надворешен притисок врз чувствителното јадро, а мостот е во избалансирана состојба (наречена нулта позиција). Кога сензорот е под притисок, се менува отпорноста на чипот, а мостот ќе ја изгуби својата рамнотежа. Ако на мостот се додава постојана струја или напонско напојување на напонот, мостот ќе излезе на напонски сигнал што одговара на притисокот, така што промената на отпорноста на сензорот се претвора во излез на сигналот за притисок. Компензирана со нелинеарната јамка за корекција, односно се генерира стандарден излезен сигнал од 4-20 mA со влезниот напон со линеарна соодветна врска.

Со цел да се намали влијанието на промената на температурата врз вредноста на отпорноста на јадрото и да се подобри точноста на мерењето, сензорот за притисок усвојува мерки за компензација на температурата за одржување на високо ниво на технички индикатори како што се нула наноси, чувствителност, линеарност и стабилност.